Search for Research

Чем занимается

Ключевые темы по публикациям: Полупроводниковые материалы и приборы; Взаимодействие ионов с поверхностью и анализ поверхности; Развитие полупроводниковых приборов и схемотехники; Кремниевые наноструктуры и фотолюминесценция; Кремний и технологии солнечных элементов.

Темы посчитаны по публикациям в OpenAlex; научный руководитель их не подтверждал

Выбранные работы

Все 28 в OpenAlex

Часть публикаций из профиля, по году от новых к старым. Это не полный список последних работ автора; работы без года — в конце.

  • Gas Phase Composition and Kinetics of Fluorine Atoms in SF6 Plasma2024
  • Chiral Thin Film Structures Based on Arrays of Cobalt Nanohelices Obtained By Oblique Deposition2024
  • Nanometer Layers and Structures in Silicon Electronics2024
  • Thermal Stability of Ferroelectric Films Based on Hafnium–Zirconium Dioxide on Silicon2023 · аннотация

    Abstract Results are presented that testify to an increase in the thermal stability and structural and electrical properties of films obtained via plasma-stimulated atomic layer deposition (PEALD). The films are of 20…

  • Mechanisms of the Redistribution of Carbon Contamination in Films Formed by Atomic Layer Deposition2023
  • Thermal stability of ferroelectric films based on hafnium-zirconium dioxide on silicon2023
  • Application of the Tikhonov Regularization Method in Problems of Ellipsometic Porometry of Low-K Dielectrics2022
  • Monte Carlo Simulation of Defects of a Trench Profile in the Process of Deep Reactive Ion Etching of Silicon2019

Наукометрия

7h-index
28публикаций
115цитирований

Написать научруку

Email не найден в открытых источниках — поищи на странице вуза или в последних статьях.

Предложена самая свежая из выбранных работ профиля. Упомяни её, только если прочитал(а) и видишь связь со своей задачей.

Шаблон письма

Здравствуйте, [Имя Отчество]! Я студент(ка) [курс, факультет, вуз]. Мне интересна тема [опишите интересы своими словами]. Хочу решать задачу: [какую задачу хочу решать / тема ВКР]. Хочу обсудить возможность выполнить научную работу под вашим руководством. Буду благодарен(на) за ответ — готов(а) рассказать о себе подробнее и прислать резюме. С уважением, [Имя Фамилия]

Замени поля в квадратных скобках своими данными и отправь письмо из своей почты. Копирование сохраняет черновик и не отправляет письмо научруку.