Search for Research

Чем занимается

Ключевые темы по публикациям: Semiconductor materials and devices; Ion-surface interactions and analysis; Advancements in Semiconductor Devices and Circuit Design; Silicon Nanostructures and Photoluminescence; Silicon and Solar Cell Technologies.

Последние работы

Все 28 в OpenAlex
  • Plasma etching of poly-Si/SiO2/Si structures: Langmuir-probe and optical-emission-spectroscopy monitoring2007 · аннотация

    An in-depth experimental evaluation is presented of the Langmuir probe as a tool for monitoring the etching of polysilicon-gate MOS structures with an inductively coupled high-density plasma excited in a mixture of SF 6…

  • New method for the Langmuir probe diagnostics of polymerizing plasmas2007 · аннотация

    A pulsed Langmuir probe method of plasma diagnostics is proposed and validated for low-pressure, high-density, low-temperature plasmas capable of producing a nonconducting film on the probe surface. The method…

  • Thermal Stability of Ferroelectric Films Based on Hafnium–Zirconium Dioxide on Silicon2023 · аннотация

    Abstract Results are presented that testify to an increase in the thermal stability and structural and electrical properties of films obtained via plasma-stimulated atomic layer deposition (PEALD). The films are of 20…

  • Application of the Tikhonov Regularization Method in Problems of Ellipsometic Porometry of Low-K Dielectrics2022
  • Monte Carlo Simulation of Defects of a Trench Profile in the Process of Deep Reactive Ion Etching of Silicon2019
  • Gas Phase Composition and Kinetics of Fluorine Atoms in SF6 Plasma2024
  • Chiral Thin Film Structures Based on Arrays of Cobalt Nanohelices Obtained By Oblique Deposition2024
  • Nanometer Layers and Structures in Silicon Electronics2024

Наукометрия

7h-index
28публикаций
115цитирований

Написать научруку

Email не найден в открытых источниках — поищи на странице вуза или в последних статьях.

Шаблон письма

Здравствуйте, A. V. Myakon’kikh! Я студент(ка) [курс, факультет, вуз]. Мне интересна тема [опишите интересы своими словами]. Прочитал(а) вашу работу «Plasma etching of poly-Si/SiO2/Si structures: Langmuir-probe and optical-emission-spectroscopy monitoring» (2007) — она близка к тому, чем я хочу заниматься. Хочу обсудить возможность выполнить научную работу под вашим руководством. Буду благодарен(на) за ответ — готов(а) рассказать о себе подробнее и прислать резюме. С уважением, [Имя Фамилия]

На этапе теста письмо отправляешь сам из своей почты. Отправка из сервиса и статусы заявок — скоро.