Search for Research

Чем занимается

Ключевые темы по публикациям: Plasma Diagnostics and Applications; Plasma Applications and Diagnostics; Metal and Thin Film Mechanics; Semiconductor materials and devices; Laser Design and Applications.

Последние работы

Все 283 в OpenAlex
  • Plasma processing of low-k dielectrics2013 · аннотация

    This paper presents an in-depth overview of the present status and novel developments in the field of plasma processing of low dielectric constant (low-k) materials developed for advanced interconnects in ULSI…

  • Deflagration-to-detonation transition in highly reactive combustible mixtures2010
  • Singlet oxygen generation in O2flow excited by RF discharge: I. Homogeneous discharge mode: α-mode2005 · аннотация

    The production and transport dynamics of O 2 ( a 1 Δ g ) and molecules as well as O( 3 P) atoms has been studied in an O 2 flow excited by a 13.56 MHz RF discharge in a quartz tube at pressures of 1–20 Torr. It has been…

  • Negative ion destruction by O(3P) atoms and O2(a 1Δg) molecules in an oxygen plasma2005 · аннотация

    Laser photodetachment was used to investigate the dynamics of negative ion density in the positive column of a pure oxygen dc glow discharge over a range of pressure (0.1–5 Torr) and current density (2–40 mA cm −2 ).…

  • On the possibility of O2(a 1 g) production by a non-self-sustained discharge for oxygen–iodine laser pumping2004
  • Influence of framework architecture on hydrogen plasma-induced structural evolution of porous organosilicate low-k dielectrics2026
  • Fluorocarbon (C4F8) assisted plasma-enhanced atomic layer etching of SiO2 with high repeatability of cycles in industrial ICP reactor. II. Simulation2026
  • Supplementary Material2026

Наукометрия

30h-index
283публикаций
3 405цитирований

Написать научруку

Email не найден в открытых источниках — поищи на странице вуза или в последних статьях.

Шаблон письма

Здравствуйте, Т. В. Рахимова! Я студент(ка) [курс, факультет, вуз]. Мне интересна тема [опишите интересы своими словами]. Прочитал(а) вашу работу «Plasma processing of low-k dielectrics» (2013) — она близка к тому, чем я хочу заниматься. Хочу обсудить возможность выполнить научную работу под вашим руководством. Буду благодарен(на) за ответ — готов(а) рассказать о себе подробнее и прислать резюме. С уважением, [Имя Фамилия]

На этапе теста письмо отправляешь сам из своей почты. Отправка из сервиса и статусы заявок — скоро.